入住 2019-11-08

超净室 基本常识 根据光学器件制做工艺的特殊要求,需要在超净室中实验进行工作。超净室内可以进行涂胶、光刻、蒸发镀膜及键合,清洗、烘干、电镀、腐蚀、扩散及研磨等。 超净室各项功能的配备均以满足各项工艺要求为前提,它具备以下特点: (1) 在洁净区与非洁净区隔离口设有“TJ —1”型单人定时冷热风淋室,它是工作人员进入超净室的净化关口。 (2) 在非洁净区设有更衣室,操作人员更换防静电洁净服后才可进入超净室。 (3) 设有室内对外器件、物品传递窗。 (4) 室内面积达24m2 ,其工作洁净度达1000 级,在局部2m2 的光刻工艺区、净化工作台以及净化涂胶机,工作洁净度达100 级。 (5) 室内用于显影及清洗器件的高纯水,是由设在室外的洁净水循环系统引入,该系统以去离子水为原水,经精密过滤、紫外线杀菌及离子交换,极大提高了水质纯度,其输出水质电阻率≥15MΩ。 (6) 在工作人员健康保障方面,超净室设有空调、净化排风系统。涂胶台及电镀腐蚀工作台设置了独立的对外排风系统,从而也降低了环境污染。空调系统保障了室内湿度≤60 % ,工作温度保持18 ℃—25 ℃。室内循环净化送风系统以及光刻工作区层流罩循环净化系统为室内洁净度提供了保障。

入住 2019-11-11

无尘洁净室 基本常识 一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。 二、无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。 三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的最好净化设备之一,它可以最大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域,达到生产车间所要求的生产洁净环境。 四,无尘洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 伍.每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

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